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扫描电镜（SEM）图像模糊通常是由于聚焦不准或像散（Astigmatism）未校正所致。以下是系统性的调焦步骤和技巧：

1. 初步检查与准备

确认样品稳定性：确保样品牢固固定，无振动（检查样品台、环境振动）。

清洁度检查：

电子枪、光阑、样品室是否污染？污染会导致像散或信号不稳定。

若怀疑污染，执行镜筒和光阑的等离子清洗或更换光阑。

2. 基础调焦步骤

(1) 选择合适的工作距离（WD）

高分辨率模式：缩短WD（如5~8mm），提升分辨率。

大视野模式：增加WD（如10~15mm），牺牲部分分辨率换取更大视野。

调整方法：通过样品台Z轴控制WD，观察图像清晰度变化。

(2) 粗聚焦（Coarse Focus）

使用低放大倍数（如1k~5kX），找到样品表面特征（如边缘、颗粒）。

调节聚焦旋钮（Focus Knob）直至图像轮廓清晰。

技巧：快速来回微调焦点，通过动态对比确定位置。

(3) 细聚焦（Fine Focus）

切换到高放大倍数（如10k~50kX），重复微调聚焦。

注意：高倍数下聚焦敏感度更高，需缓慢调节。

3. 像散校正（关键！）

像散是导致图像“单向模糊”或“拖尾”的主因，需通过消像散器（Stigmator）校正：

(1) 识别像散特征

图像在某一方向模糊（如水平模糊但垂直清晰），旋转样品时模糊方向改变。

高倍下观察颗粒是否呈现椭圆形或分裂成双重像。

(2) 校正步骤

选择高放大倍数（≥20kX）和快速扫描速率（Fast Scan），便于实时观察。

调节X/Y消像散旋钮（Stigmator X/Y）：

交替调整X和Y，使颗粒或边缘从“椭圆形”恢复为“圆形”。

重复微调聚焦与消像散，直至图像锐利。

4. 优化技巧

动态聚焦（Dynamic Focus）：

对不平整样品，启用动态聚焦功能（如有），补偿不同高度区域的焦点差异。

自动聚焦功能：

部分SEM配备自动聚焦（Auto Focus），但手动调整更准确，尤其对复杂样品。

信号优化：

调整对比度/亮度，避免信号过饱和或不足影响聚焦判断。

使用二次电子（SE）信号调焦（比背散射电子BSE更敏感）。